电子制造产业中超纯水系统，工艺管道清洗洁净度、及使用中超纯水监测提供实验室检测及现场采样专业化检测服务。
适用范围：
超纯水系统监控及验收，超纯水系统水质定期监测，工艺管道清洗洁净度验证、工艺工段清洁度验证，化学液管道清洗验证。
检测项目：
• 金属杂质元素分析（检出限：0.1ppb—0.001ppb）：铜、锌、镍、钠、钾、铁、铅等
• 阴/阳离子分析（0.01ppb）：氟、氯、溴、亚硝酸根、硝酸根、磷酸根、硫酸根。
• 总有机碳（TOC）分析（检出限：0.01ppb）
• 颗粒物（Partical）分析：(检测范围：0.05um、0.1μm，0.15um，0.2um)
• 挥发性有机化合物（VOC）分析（检出限：0.01ppb）
• 细菌总数分析
• 电阻率测定：支持现场测定
• 硅化合物分析
• 现场采样
• 在线分析服务
检测仪器：
• 电导率仪
• 总有机碳TOC分析仪
• 颗粒计数仪
• 离子色谱仪IC
• 溶解氧分析仪
• 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
• X射线光电子能谱（XPS）
• 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）
• 露点仪
