电子制造产业耗材、设备、设备零部件，晶圆盒及接触材料提供专业的性能验证，洁净度验证，污染物检测服务。
适用范围：
• 半导体设备及零部件、晶圆盒及晶圆接触材料，滤芯、滤料、无尘工作服（无尘服/无尘鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包装材料）
检测项目：
丨 滤芯材料性能：
• 可靠性能：过滤精度、阻力、纳污容量、孔径、与过滤材料的相容性等
• 物理性能：滤材厚度、密度、伸展率、拉伸强度、顶破强度、撕裂强度、耐磨性等
• 安全性能：耐化学腐蚀稳定性、耐湿热稳定性、耐紫外老化稳定性等
丨 滤料性能：
• 物理性能：表面形貌和微观结构、孔径和孔隙率、拉伸强度和断裂伸长率、耐磨性
• 可靠性能：过滤效率、压降、吸附容量等
• 安全性能：耐化学腐蚀稳定性、耐湿热稳定性、耐紫外老化稳定性等
丨 滤芯产品效果验证：
• 化学兼容性、可提取物或浸出物相容性、细菌截留率
• 无尘工作服（无尘服/无尘鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包装材料）
• 附着的污染粒子检测、附着未知成分解析、外观、过滤效率、静电性能、耐洗涤性能
丨 半导体设备：
• 发尘量测试、洁净环境性能验证、设备符合性证书
丨 ISO 14644：
• 洁净室空气颗粒及浮游菌监控
丨 半导体零部件：
• 洁净度验证、Outgassing分析
丨 晶圆盒及晶圆接触材料：
• 金属元素污染物：锂、硼、钴、砷、银、钨、钠、钾、镁、钙、铁、锌、铜、铬、镍、铅、锰、铝、锑等
• 阴离子污染物：SO42-, Cl-, NO2-、Br-、NO3-、PO43-, F-等
• 颗粒污染物：颗粒粒径0.1 – 1 um
• 有机物污染：含碳污染物
检测仪器：
• 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
• 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）
• 离子色谱仪（IC）
